硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應(yīng)用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。

管束式集裝箱技術(shù)參數(shù)：

大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶技術(shù)參數(shù)：

1. 引言

硅烷槽車是用于運輸硅烷的特殊車輛。硅烷是一種無色、易燃、有毒的液體，在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。為了確保硅烷的安全運輸，硅烷槽車方案應(yīng)當考慮車輛的設(shè)計、裝載與卸載方案，以及安全措施等方面。

本文檔將介紹硅烷槽車的設(shè)計要求、裝載與卸載方案，以及安全措施等內(nèi)容。

2. 硅烷槽車設(shè)計要求

硅烷槽車的設(shè)計要求主要包括以下幾個方面：

2.1 容量要求

硅烷的運輸量較大，因此硅烷槽車的容量要求較高。一輛標準的硅烷槽車的容量通常在1000-3000升之間，根據(jù)運輸需求可進行調(diào)整。

2.2 材質(zhì)要求

由于硅烷具有易燃、有毒的性質(zhì)，硅烷槽車的材質(zhì)應(yīng)具備良好的防腐蝕、耐高溫、耐腐蝕等特性。常見的硅烷槽車材料包括不銹鋼和鋁合金等。

2.3 車輛結(jié)構(gòu)要求

硅烷槽車的結(jié)構(gòu)應(yīng)具備良好的密封性，以防止硅烷泄漏。車輛應(yīng)配備合適的閥門和管道系統(tǒng)，以便進行裝載與卸載操作。

2.4 車輛性能要求

硅烷槽車的性能要求包括動力性能、制動性能、懸掛性能等。車輛應(yīng)具備良好的操控性與穩(wěn)定性，以確保運輸過程中的安全性。

3. 硅烷槽車裝載與卸載方案

3.1 硅烷裝載方案

硅烷的裝載需要一定的特殊設(shè)備。在裝載過程中，應(yīng)按照以下步驟進行操作：

1.確保裝載區(qū)域通風良好，并遠離火源。

2.進行裝載前的安全檢查，確保硅烷槽車的密封性良好。

3.打開裝載區(qū)域的閥門，并將硅烷轉(zhuǎn)移到硅烷槽車中。

4.在裝載過程中，應(yīng)嚴格控制硅烷的流量，避免泄漏。

3.2 硅烷卸載方案

硅烷的卸載也需要特殊設(shè)備。在卸載過程中，應(yīng)按照以下步驟進行操作：

5.確保卸載區(qū)域通風良好，并遠離火源。

6.進行卸載前的安全檢查，確保硅烷槽車的密封性良好。

7.打開卸載區(qū)域的閥門，并將硅烷從硅烷槽車中轉(zhuǎn)移出來。

8.在卸載過程中，應(yīng)嚴格控制硅烷的流量，避免泄漏。

4. 硅烷槽車安全措施

為了確保硅烷槽車的安全運輸，應(yīng)采取以下安全措施：

9.硅烷槽車應(yīng)配備防火、防爆設(shè)備，以防止硅烷泄露引發(fā)火災(zāi)或爆炸事故。

10.硅烷槽車應(yīng)定期進行安全檢查和維護，確保車輛的密封性和性能良好。

11.運輸過程中，應(yīng)避免與易燃物質(zhì)和氧化劑等物質(zhì)接觸，以免發(fā)生危險事故。

12.司機應(yīng)具備相關(guān)的專業(yè)知識和駕駛技能，能夠應(yīng)對緊急情況。

5. 結(jié)論

硅烷槽車方案的設(shè)計要求包括容量、材質(zhì)、車輛結(jié)構(gòu)和性能等方面。在裝載與卸載方案上，需要注意硅烷的特殊性，采取防止泄漏的措施。為確保硅烷槽車的安全運輸，應(yīng)采取適當?shù)陌踩胧?，包括防火、防爆設(shè)備的配備和定期維護等。

通過合理的設(shè)計和操作，硅烷槽車可以安全、高效地運輸硅烷，為半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的發(fā)展提供了重要支持。

管束車技術(shù)要求：

1、本設(shè)備為僅適用于公路鐵路和水路聯(lián)運的特種設(shè)備，按Q/SVSK 9-2020《高壓液化氣體管束式集裝箱》的要求設(shè)計、制造、檢驗和驗收 ，并按TSG R0005-2011《移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》的監(jiān)察。

2、大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶(TUBE 1-559-1100-16.6-Ⅰ)按GB/T 33145-2016《大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶》的要求進行設(shè)計、制造、檢驗和驗收，并接受TSG R0006-2014《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》監(jiān)察；端塞材料的化學成分和力學性能應(yīng)符合相應(yīng)鍛件材料標準的規(guī)定。

3、集裝箱框架外廓外寸應(yīng)按圖要求且須符合GB/T 1413-2008《系列1 集裝箱分類、尺寸和頻定質(zhì)量》的規(guī)定。

4、角件須符合GB/T 1835-2006《系列1 集裝箱 角件》標準的規(guī)定；角件定位尺寸按GB/T 1413-2008標準要求。

5、角件與框架方管各連接焊縫表面應(yīng)無肉眼可見的氣孔、咬邊、裂紋等陷。圖中未注角焊縫焊腳高度取較薄者厚度，未注焊縫的焊接方式為連續(xù)焊。焊接接頭尺寸應(yīng)將合HG/T 20583-2011標準的要求。鋼瓶體上不得施焊。

6、管路系統(tǒng)用不銹鋼無縫鋼管材料應(yīng)符合ASME SA-213規(guī)定。

7、管路系統(tǒng)的焊接工藝評定應(yīng)符合NB/T 47014-2011《承壓設(shè)備焊接工藝評定》，管路焊接接頭的焊接工藝應(yīng)符合NB/T 47015-2011《壓力容器焊接規(guī)程》的規(guī)定。

8、管路系統(tǒng)焊接后對接接頭應(yīng)進行100%射線檢測，合格級別滿足企標要求；角接接頭進行100%滲透檢測合格級別滿足企標要求。

9、管路系統(tǒng)經(jīng)無損檢測合格后應(yīng)進行氣壓試驗，試驗介質(zhì)為高純度氮氣（純度≥99.99%）試驗壓力27.7Mpa。

10、組裝前，鋼瓶應(yīng)逐只進行水壓式驗，試驗壓力加27.7Mpa，水壓試驗合格后氣戰(zhàn)內(nèi)部應(yīng)烘干。合格后氣瓶內(nèi)壁應(yīng)進行研磨處理，處理后內(nèi)表面質(zhì)量滿足企標或符合客戶訂貨技術(shù)協(xié)議的要求。

11、組裝后應(yīng)進行尺寸和外觀檢驗，合格后進行整體氣密性試驗，試驗介質(zhì)為10%He與90%N2的混合氣，試驗壓力為16.6Mpa，保壓時間30分鐘，無泄漏為合格。

12、氣密性試驗合格后應(yīng)進行氫質(zhì)譜檢漏，漏率不大于1.0×10^-7Pa·m³/L為合格。

13、檢驗合格后應(yīng)進行抽真空處理，處理后的真空度<2x10^-2mbar。

14、抽真空后充入0.1~0.3MPa高純度氮氣進行保護，并檢測含水量不大于1PPMv為合格成符合客戶訂貨技術(shù)協(xié)議要求。

15、產(chǎn)品外表面應(yīng)涂防銹底漆和灰色聚氨脂面漆，總漆膜厚度不小于240μm。

注：裝卸口中心距離底角件下底面尺寸260mm。